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顯微分光膜厚儀采用檢量線法和FP法，可防止在對焦時造成的損壞

更新時間：2023-02-06

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　　顯微分光膜厚儀利用光學干涉儀和自有的高精度分光光度計，實現(xiàn)非接觸、無損、高速、高精度的薄膜厚度測量。光學干涉測量法是一種使用分光光度計的光學系統(tǒng)獲得的反射率來確定光學膜厚的方法。以涂在金屬基板上的薄膜為例，從目標樣品上方入射的光被薄膜表面（R1）反射。此外，穿過薄膜的光在基板（金屬）和薄膜界面（R2）處被反射。測量此時由于光程差引起的相移所引起的光學干涉現(xiàn)象，并根據(jù)得到的反射光譜和折射率計算膜厚的方法稱為光學干涉法。

　　顯微分光膜厚儀的作用特點：

　　1、自動對焦作用。配備激光自動對焦作用，能夠準確對焦，提高量測效率。

　　2、具有焦點距離切換作用，適用于有凹凸的機器部件與電路板的底部進行量測

　　3、膜厚儀采用檢量線法和FP法，兩個準直器可自動切換，采用激光自動對焦，并配備有Z軸防沖撞傳感器，可防止在對焦時造成的損壞。

　　4、選用Mo靶材X射線管，量測貴金屬更靈敏。

　　5、膜厚儀支持多種語言的軟件系統(tǒng)。簡體中文、繁體中文、英語、日語、韓語

　　6、搭載樣本尺寸的兼容性可適用于各種樣本，能夠通過一臺儀器量測，從電子部件、電路板到機器部件等高度較高的樣本，從較厚的樣本(機器零部件)之大型線路板(PCB)及電子元器件等

　　7、鹵素燈照明

　　8、即時生成量測報告的便捷性。運用搭載的MicrosoftWord，Excel可以簡單輕松得到制作報告

　　9、多種修正作用。基材修正、已知樣本修正、人工輸入修正

　　10、膜厚儀搭載了電動Ｘ－Ｙ移動平臺

　　顯微分光膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種薄膜、涂層光學常數(shù)(nandk)和厚度的精確測量，設(shè)備分為在線和離線兩種工作模式，操作便捷，幾秒鐘內(nèi)即可完成測量和數(shù)據(jù)分析，USB連接計算機控制；薄膜表面或界面的反射光會與從基底的反射光相干涉，干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關(guān)，因此可通過計算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無損、精確且快速的光學薄膜厚度測量技術(shù)，我們的薄膜測量系統(tǒng)采用光干涉原理測量薄膜厚度。

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