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SIRM是非接觸和非破壞型光學檢測設備，對體微缺陷，如氧化物和金屬沉淀，位錯、堆垛層錯，體材料中的滑線和空隙等進行測試。這個技術也可對GaAs 和 InP等復合材料進行測試。
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無需制樣
最小測試缺陷尺寸10nm
測試缺陷濃度范圍:105-109cm-3
可做外延片測試
測試樣品最大尺寸300mm
上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統。經過多年的發展，上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產品和服務在行業內具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續努力，不斷提升市場地位和影響力。
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